万业企业旗下嘉芯迦能中标特色工艺线建树招标项目
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上证报中国证券网讯据必联网宣布的中标功效告示显示,3月7日,万业企业旗下嘉芯迦能的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)以及钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)中标特色工艺出产线建树招标项目。
另据资料显示,自2022下半年开始,抖客教程网,万业企业旗下嘉芯半导体多次中标多款设备,包括快速热处理惩罚(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)、二氧化硅等离子薄膜沉积设备(PECVD)、铝铜金属溅射设备(PVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)以及钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)等。(赵平)